Academic Journal
Electron Microscopic Observation of Oxygen-Free Palladium/Titanium Thin Films: New Non-Evaporable Getter (NEG) Coatings
العنوان: | Electron Microscopic Observation of Oxygen-Free Palladium/Titanium Thin Films: New Non-Evaporable Getter (NEG) Coatings / 無酸素パラジウム/チタン薄膜を用いた新しい非蒸発型ゲッター(NEG)コーティングの電子顕微鏡観察 |
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المؤلفون: | Ayako Hashimoto, Kazuhiko Mase, Misao Yamanaka, Takashi Kikuchi, Tetsuya Miyazawa, 宮澤 徹也, 山中 操, 橋本 綾子, 菊地 貴司, 間瀬 一彦 |
المصدر: | Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan. 2018, :255 |
قاعدة البيانات: | J-STAGE |
DOI: | 10.14886/sssj2008.2018.0_255 |
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