H-Free DLC with high density and low residual compression

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	H-Free DLC with high density and low residual compression / 残留応力が小さい高密度水素フリーDLC
المؤلفون:	Akio Nishiyama, Hideaki SATO, Hidetoshi SAITOH, Keiji KOMATSU, Ryota Yoshikawa, 佐藤秀明, 吉川亮太, 小松啓志, 斎藤秀俊, 西山昭雄
المصدر:	Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2021, :713
قاعدة البيانات:	J-STAGE

الوصف
DOI:	10.11522/pscjspe.2021S.0_713