Academic Journal
Surface of polishing pad and the polishing performance
| العنوان: | Surface of polishing pad and the polishing performance / 研磨パッドの表面形状とその研磨性能 |
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| المؤلفون: | Jae Hong Park, Koichi Yoshida, Naoko Kawai, 吉田 光一, 朴 栽弘, 河井 奈緒子 |
| المصدر: | Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2007, :1013 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| DOI: | 10.11522/pscjspe.2007A.0.1013.0 |
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