Academic Journal

Evaluation of error propagation in profile measurement by using stitching method

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Evaluation of error propagation in profile measurement by using stitching method / ステッチング法を用いた形状測定における誤差伝播の検証
المؤلفون: Kazuhiro Enami, Kenji Ueno, Tatsuya Kume, Yasuo Higashi, 上野 健治, 久米 達哉, 東 保男, 江並 和弘
المصدر: Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2006, :193
قاعدة البيانات: J-STAGE
الوصف
DOI:10.11522/pscjspe.2006A.0.193.0