1nm分解能の小型超精密位置決め装置の熱変形ドリフト

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	1nm分解能の小型超精密位置決め装置の熱変形ドリフト / Thermal Drift of Small Ultraprecision Positioning Device with 1nm Resolution
المؤلفون:	Jiro Otsuka, Norio Matsuura, Souji Ichikawa, Takatoshi Ishida, 大塚二郎, 市川宗次, 松浦規夫, 石田貴稔
المصدر:	Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2005, :709
قاعدة البيانات:	J-STAGE

الوصف
DOI:	10.11522/pscjspe.2005S.0.709.0