Academic Journal
Ultraprecision processing of single crystal silicon spherical mirror by ELID Grinding
| العنوان: | Ultraprecision processing of single crystal silicon spherical mirror by ELID Grinding / 超精密ELID研削による単結晶Si球面ミラーの加工 |
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| المؤلفون: | Atsushi Murakami, Hitosi Ohmori, Seiji Hirai, Shaohui Yin, Toru Suzuki, Weimin Lin, Yoshihiro Uehara, Yutaka Watanabe, 上原 嘉宏, 大森 整, 尹 昭輝, 平井 聖児, 村上 淳, 林 偉民, 渡邉 裕, 鈴木 亨 |
| المصدر: | Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2005, :572 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| DOI: | 10.11522/pscjspe.2005S.0.572.0 |
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