Academic Journal
Microfabrication of quartz by focused ion beam bombardment and following wet etching
| العنوان: | Microfabrication of quartz by focused ion beam bombardment and following wet etching / 集束イオンビーム照射とウエットエッチングを併用した石英の微細加工 |
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| المؤلفون: | Iwao Miyamoto, Jun Taniguchi, Noboru Morita, Noritaka Kawasegi, Sadao Momota, Takaaki Nakao, Yasuo Kogo, 中尾 高顕, 向後 保雄, 宮本 岩男, 川堰 宣隆, 森田 昇, 百田 佐多生, 谷口 淳 |
| المصدر: | Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2005, :405 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| DOI: | 10.11522/pscjspe.2005A.0.405.0 |
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