Academic Journal
Development of an ultra-precision stage driven by the non-resonance type ultrasonic motor -(5th Report)-
| العنوان: | Development of an ultra-precision stage driven by the non-resonance type ultrasonic motor -(5th Report)- / 非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発－（第5報）－ |
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| المؤلفون: | Akira Nakada, Hiroshi Kubota, Hiroyuki Furukawa, Hiroyuki Hashiguchi, Keiichi Nagamoto, Kimifusa Koiso, Koji Kosaka, Tetsuya Kosaka, Yoshiya Egashira, taishi Endo, 中田 明良, 久保田 弘, 古川 博之, 小坂 光二, 小坂 哲也, 小磯 公房, 橋口 弘幸, 永本 恵市, 江頭 義也, 遠藤 泰史 |
| المصدر: | Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2002, :296 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| DOI: | 10.11522/pscjspe.2002A.0.296.0 |
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