Novel Bump Formation Process by Using Photoresist with High Heat Resistance and High Resolution

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	Novel Bump Formation Process by Using Photoresist with High Heat Resistance and High Resolution / 高耐熱性・高解像度のレジストを用いた新規バンプ形成プロセス
المؤلفون:	折井靖光, 楠本士朗, 武川純, 猪俣克巳, 長谷川公一, 青木豊広, 高橋誠一郎, 鳥山和重
المصدر:	MES. 2014, :315
قاعدة البيانات:	J-STAGE

الوصف
تدمد:	2434396X
DOI:	10.11486/mes.24.0_315