Academic Journal
Timing of the Lighting of Self-ignited Plasma by N2 Gas and Ar Gas using Plasma-based Ion Implantation
| العنوان: | Timing of the Lighting of Self-ignited Plasma by N2 Gas and Ar Gas using Plasma-based Ion Implantation / プラズマベースイオン注入（PBII）法を用いた窒素ガスとアルゴンガスの自己点弧プラズマの点灯のタイミング |
|---|---|
| المؤلفون: | Hiromitsu NOGUCHI, Hiroshi TOYOTA, Kazuhiro SHIMONO, Nobuyuki FUJIMURA, Takeshi TANAKA, Yoshito SHIRAI, 下野 和洋, 田中 武, 白井 義人, 藤村 信幸, 豊田 宏, 野口 央照 |
| المصدر: | Journal of the Vacuum Society of Japan. 2014, 57(5):193 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 18822398 18824749 |
|---|---|
| DOI: | 10.3131/jvsj2.57.193 |