2次元TRI法によるAl配線のマイグレーションと温度分布の関係の可視化

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	2次元TRI法によるAl配線のマイグレーションと温度分布の関係の可視化 / Visualization of Temperature Effects on Migration in Al Lines Using Two-dimensional Thermoreflectance Imaging Method
المؤلفون:	Kanji Tamai, Kazuya Tatsumi, Kazuyoshi Nakabe, Kengo Araki, Reiko Kuriyama, 中部主敬, 巽和也, 栗山怜子, 玉井莞爾, 荒木謙吾
المصدر:	The Proceedings of the Thermal Engineering Conference. 2021, :0156
قاعدة البيانات:	J-STAGE

الوصف
تدمد:	2424290X
DOI:	10.1299/jsmeted.2021.0156