Academic Journal
OS0115 Cu and barrier metal corrosion in laminar flow using microfluidic channels
| العنوان: | OS0115 Cu and barrier metal corrosion in laminar flow using microfluidic channels / OS0115 マイクロ流路を用いた層流下のCu及びバリアメタル腐食 |
|---|---|
| المؤلفون: | Chikako Takatoh, Masahito Abe, Masanori Hayase, Satomi Hamada, Tadashi Obo, Takeshi Otsu, 大保 忠司, 大津 健史, 早瀬 仁則, 濱田 聡美, 阿部 祐士, 高東 智佳子 |
| المصدر: | The Proceedings of Conference of Kanto Branch. 2016, 1 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 24242691 |
|---|---|
| DOI: | 10.1299/jsmekanto.2016.22._OS0115-1_ |