Academic Journal
1206 FEMによるシリコンウェーハのアニールプロセスにおける熱変形解析(OS12-2.シリコンとシミュレーション(2),OS・一般セッション講演)
| العنوان: | 1206 FEMによるシリコンウェーハのアニールプロセスにおける熱変形解析(OS12-2.シリコンとシミュレーション(2),OS・一般セッション講演) / 1206 The FEM for thermal deformation of silicon wafer in annealing process |
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| المؤلفون: | Haruo Sudo, Koji Araki, Shinya Higashi, Tatsuhiko Aoki, Yasutada Nakagawa, 中川 泰忠, 東 真也, 荒木 浩司, 青木 竜彦, 須藤 治生 |
| المصدر: | The Proceedings of The Computational Mechanics Conference. 2012, :45 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 24242799 |
|---|---|
| DOI: | 10.1299/jsmecmd.2012.25.45 |