Academic Journal
Fabrication and characterization of AlGaN channel HFETs with selective-area regrowth ohmic contacts
| العنوان: | Fabrication and characterization of AlGaN channel HFETs with selective-area regrowth ohmic contacts / 選択再成長オーミックコンタクトを用いたAlGaNチャネルHFETの作製と特性評価 |
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| المؤلفون: | Akiyoshi Inoue, Hiroki Harada, Makoto Miyoshi, Mizuki Yamanaka, Takashi Egawa, 三好 実人, 井上 暁喜, 原田 紘希, 山中 瑞樹, 江川 孝志 |
| المصدر: | JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2021, :2438 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 24367613 |
|---|---|
| DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2438 |