Academic Journal
Si-site Selective Removal from SiGe using Hydrogen Plasma via Ab-initio Calculations
| العنوان: | Si-site Selective Removal from SiGe using Hydrogen Plasma via Ab-initio Calculations / SiGe表面 で の 水素を用いた Si サイト選択 的脱離 の第一原理計算解析 |
|---|---|
| المؤلفون: | KENICHI KUWAHARA, MAKOTO MIURA, RYOKO SUGANO, YOHEI ISHII, 三浦 真, 桑原 謙一, 石井 洋平, 菅野 量子 |
| المصدر: | JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2021, :1461 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 24367613 |
|---|---|
| DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1461 |