Fabrication and Evaluation of Si Plasmonic Waveguide heater with Metal

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	Fabrication and Evaluation of Si Plasmonic Waveguide heater with Metal / 金属積層Siプラズモン導波路ヒータの作製と評価
المؤلفون:	Hiromasa Shimizu, Koji Yamada, Mitaro Namiki, Tomohiro Miyauchi, 並木美太郎, 宮内智弘, 山田浩史, 清水大雅
المصدر:	JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2020, :601
قاعدة البيانات:	J-STAGE

الوصف
تدمد:	24367613
DOI:	10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_601