Academic Journal
Effect of Si-Nanopillar Spacing on Thermal Properties
| العنوان: | Effect of Si-Nanopillar Spacing on Thermal Properties / シリコンナノピラーの間隔変化による熱特性への影響 |
|---|---|
| المؤلفون: | Atsuhiko Fukuyama, Daisuke Ohori, Seiji Samukawa, Tetsuo Ikari, Tomoki Harada, Yuki Arata, 原田 知季, 大堀 大介, 安良田 裕基, 寒川 誠二, 碇 哲雄, 福山 敦彦 |
| المصدر: | JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2020, :2384 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 24367613 |
|---|---|
| DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_2384 |