Academic Journal
Electrical characteristics of Oxygen implanted GaN layers
| العنوان: | Electrical characteristics of Oxygen implanted GaN layers / 酸素イオン注入したGaN層の電気特性評価 |
|---|---|
| المؤلفون: | Katsunori Ueno, Ryo Tanaka, Shinya Takashima, Takuro Inamoto, Yuta Fukushima, 上野 勝典, 田中 亮, 福島 悠太, 稲本 拓朗, 高島 信也 |
| المصدر: | JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2020, :2809 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 24367613 |
|---|---|
| DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_2809 |