Academic Journal
Temperature control of clean room by dynamic simulation and virtual metrology
| العنوان: | Temperature control of clean room by dynamic simulation and virtual metrology / クリーンルームの動的シミュレーションとバーチャルメトロロジーによる温度制御 |
|---|---|
| المؤلفون: | Hiroki Obana, Hiroshi Kubota, Masao Yoshioka, Narumi Abe, Ryo Ogasawara, Takeshi Hashishin, Yuuki Kumagae, 久保田 弘, 吉岡 昌雄, 小笠原 稜, 尾花 宏樹, 橋新 剛, 熊谷 祐希, 阿部 成海 |
| المصدر: | JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :2989 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 24367613 |
|---|---|
| DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_2989 |