Academic Journal
High-temperature AlN growth by ammonia-free metalorganic vapor phase epitaxy
| العنوان: | High-temperature AlN growth by ammonia-free metalorganic vapor phase epitaxy / アンモニアフリー有機金属気相成長法における高温AlN成長 |
|---|---|
| المؤلفون: | Hajime Okumura, Kazutoshi Kojima, Mitsuaki Shimizu, Xu-Qiang Shen, 児島 一聡, 奥村 元, 沈 旭強, 清水 三聡 |
| المصدر: | JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :3282 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 24367613 |
|---|---|
| DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3282 |