Academic Journal
GaAsP microelectromechanical beam structures for terahertz bolometer applications
| العنوان: | GaAsP microelectromechanical beam structures for terahertz bolometer applications / テラヘルツボロメータ応用に向けたGaAsP MEMS両持ち梁構造 |
|---|---|
| المؤلفون: | Boqi Qiu, Kazuhiko Hirakawa, Koichi Akahane, Naomi Nagai, Suguru Hosono, Ya Zhang, 平川 一彦, 張 亜, 細野 優, 赤羽 浩一, 邱 博奇, 長井 奈緒美 |
| المصدر: | JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2017, :794 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 24367613 |
|---|---|
| DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_794 |