Academic Journal
Crystal Orientation of β-Ga2O3 Thin Films Formed on Vicinal c-Plane Sapphire Substrates
العنوان: | Crystal Orientation of β-Ga2O3 Thin Films Formed on Vicinal c-Plane Sapphire Substrates / c面サファイア・オフ基板上に形成したβ-Ga2O3薄膜の結晶配向性 |
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المؤلفون: | Shinji Nakagomi, Yoshihiro Kokubun, 中込 真二, 國分 義弘 |
المصدر: | JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2016, :3639 |
قاعدة البيانات: | J-STAGE |
تدمد: | 24367613 |
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DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_3639 |