التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
TEM observation of interface between sputter-deposited Al-based insulator and AlGaN / スパッタ成膜したアルミナ系絶縁膜/AlGaN界面のTEM観察 |
| المؤلفون: |
Heiji Watanabe, Joyo Ito, Kenta Watanabe, Masahiro Ishida, Mikito Nozaki, Ryohei Asahara, Satoshi Nakazawa, Takahiro Yamada, Takayoshi Shimura, Takuji Hosoi, Tetsuzo Ueda, Yoshiharu Anda, 上田 哲三, 中澤 敏志, 伊藤 丈予, 山田 高寛, 志村 考功, 按田 義治, 淺原 亮平, 渡邉 健太, 渡部 平司, 石田 昌宏, 細井 卓治, 野崎 幹人 |
| المصدر: |
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2016, :3125 |
| قاعدة البيانات: |
J-STAGE |