Academic Journal
Microwave Plasma Generation Using Cylindrical Cavity and Solid-State Amplifier Ⅱ
| العنوان: | Microwave Plasma Generation Using Cylindrical Cavity and Solid-State Amplifier Ⅱ / 円筒キャビティと固体アンプを用いたマイクロ波プラズマ生成ⅠⅠ |
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| المؤلفون: | Daisuke Ogawa, Hideo Sugai, Keiji Nakamura, Satoru Kobayashi, Soonam Park, Yuichi Hasegawa, パーク スーナム, 中村 圭二, 小川 大輔, 小林 理, 菅井 秀郎, 長谷川 雄一 |
| المصدر: | JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2016, :1672 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 24367613 |
|---|---|
| DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1672 |