Siウェーハの曲げ強度に対する表層酸素濃度の影響

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	Siウェーハの曲げ強度に対する表層酸素濃度の影響
المؤلفون:	中村芳明, 日高洋美, 泉妻宏治, 荒木延恵, 荒木浩司, 酒井朗, 青木竜彦, 須藤治生
المصدر:	JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2013, :3345
قاعدة البيانات:	J-STAGE

الوصف
تدمد:	24367613
DOI:	10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3345