Micro Fabrication Using SPM

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	Micro Fabrication Using SPM / SPMによるマイクロ加工
المؤلفون:	Kazuyoshi FURUTA, Masayuki SUDA, Naoya WATANABE, Toshihiko SAKUHARA, 作原寿彦, 古田一吉, 渡邉直哉, 須田正之
المصدر:	精密工学会誌 / Journal of the Japan Society for Precision Engineering. 2002, 68(2):197
قاعدة البيانات:	J-STAGE

الوصف
تدمد:	09120289 1882675X
DOI:	10.2493/jjspe.68.197