Academic Journal
Study on Pattern Inspection Technique for Opaque Samples
| العنوان: | Study on Pattern Inspection Technique for Opaque Samples / 不透明試料上のパタン検査法の研究 |
|---|---|
| المؤلفون: | Hiroo KINOSHITA, Kimiyoshi DEGUCHI, 出口 公吉, 木下 博雄 |
| المصدر: | 精密機械 / Journal of the Japan Society of Precision Engineering. 1981, 47(7):849 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 03743543 |
|---|---|
| DOI: | 10.2493/jjspe1933.47.849 |