Academic Journal
Femtosecond Laser Processing for Functional Microdevice Fabrication
| العنوان: | Femtosecond Laser Processing for Functional Microdevice Fabrication / 高機能マイクロデバイスのためのフェムト秒レーザプロセッシング |
|---|---|
| المؤلفون: | Hiroaki NISHIYAMA, 西山 宏昭 |
| المصدر: | 精密工学会誌 / Journal of the Japan Society for Precision Engineering. 2015, 81(8):718 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 09120289 1882675X |
|---|---|
| DOI: | 10.2493/jjspe.81.718 |