次世代マイクロデバイスの量産に貢献する常温ウェーハ接合装置

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	次世代マイクロデバイスの量産に貢献する常温ウェーハ接合装置
المؤلفون:	Joji YAMAGUCHI, Kensuke IDE, Takayuki GOTO, 井手健介, 山口城治, 後藤崇之
المصدر:	精密工学会誌 / Journal of the Japan Society for Precision Engineering. 2013, 79(8):701
قاعدة البيانات:	J-STAGE

الوصف
تدمد:	09120289 1882675X
DOI:	10.2493/jjspe.79.701