Academic Journal
Current Status of Digital Twin Development in GaN MOVPE
| العنوان: | Current Status of Digital Twin Development in GaN MOVPE / GaN有機金属気相成長におけるデジタルツイン開発の現状 |
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| المؤلفون: | Akira Kusaba, Atsushi Oshiyama, Kenji Shiraishi, Shugo Nitta, Tetsuji Kuboyama, Yoshihiro Kangawa, 久保山 哲二, 寒川 義裕, 押山 淳, 新田 州吾, 白石 賢二, 草場 彰 |
| المصدر: | 日本結晶成長学会誌 / Journal of the Japanese Association for Crystal Growth. 2023, 50(1):50-05 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 03856275 21878366 |
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| DOI: | 10.19009/jjacg.50-1-05 |