Academic Journal
Recent Development on the Production Technology of Silicon Carbide Wafers
| العنوان: | Recent Development on the Production Technology of Silicon Carbide Wafers / SiCウェハ製造に関する最近の動向 |
|---|---|
| المؤلفون: | Tatsuo Fujimoto, 藤本 辰雄 |
| المصدر: | 電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌） / IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems. 2010, 130(6):917 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 03854221 13488155 |
|---|---|
| DOI: | 10.1541/ieejeiss.130.917 |