Study on the Etching Characteristics and Thermal Conductivity of Porous Silicon Nanowire Arrays Using Highly Doped Silicon

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	Study on the Etching Characteristics and Thermal Conductivity of Porous Silicon Nanowire Arrays Using Highly Doped Silicon
المؤلفون:	Haibin Li, Shinya Kato, Tetsuo Soga, Yasuyoshi Kurokawa
المصدر:	e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 2022, 21(1):40
قاعدة البيانات:	J-STAGE

الوصف
تدمد:	13480391
DOI:	10.1380/ejssnt.2023-006