Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Hydrogenated Diamond Like Carbon Films by Atmospheric Pressure Micro Plasmas

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Hydrogenated Diamond Like Carbon Films by Atmospheric Pressure Micro Plasmas / 大気圧マイクロプラズマによる水素化ダイヤモンドライクカーボン薄膜のCVD合成
المؤلفون:	Hiroyuki YOSHIKI, Ryota NISHIMURA, 吉木宏之, 西村涼汰
المصدر:	プラズマ応用科学 / Applied Plasma Science. 2022, 30(1):33
قاعدة البيانات:	J-STAGE

الوصف
تدمد:	13403214 24351555
DOI:	10.34377/aps.30.1_33