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Comparison of High Energy X-rays and Cobalt 60 irradiations on MOS capacitors ; Comparaison entre les irradiations aux rayons X de haute énergie et au cobalt 60 sur les condensateurs MOS.
| العنوان: | Comparison of High Energy X-rays and Cobalt 60 irradiations on MOS capacitors ; Comparaison entre les irradiations aux rayons X de haute énergie et au cobalt 60 sur les condensateurs MOS. |
|---|---|
| المؤلفون: | Girones, Vincent, Boch, Jérôme, Saigné, Frédéric, Carapelle, Alain, Chapon, Arnaud, Maraine, Tadec, García, Rubén |
| المساهمون: | Université de Montpellier (UM), Institut d’Electronique et des Systèmes (IES), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Montpellier (UM), Radiations et composants (RADIAC), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Montpellier (UM), Fiabilité et Systèmes en Environnements Contraints (FSEC), Centre Spatial de Liège (CSL), Université de Liège, ATRON Metrology, CERN Genève |
| المصدر: | RADECS 2023 ; https://hal.science/hal-04580390 ; RADECS 2023, Sep 2023, Toulouse, France |
| بيانات النشر: | HAL CCSD |
| سنة النشر: | 2023 |
| المجموعة: | Université de Montpellier: HAL |
| مصطلحات موضوعية: | MOS capacitor, X-ray, Cobalt-60, TID, Filter, [SPI]Engineering Sciences [physics], [PHYS]Physics [physics], [SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics |
| جغرافية الموضوع: | Toulouse, France |
| الوصف: | International audience ; The use of a high energy X-ray generator for TotalIonizing Dose testing is studied on MOS capacitors. Severalconditions were studied for the high energy X-ray irradiations(with aluminum and lead filters) and the experimental results arecompared to Co-60 irradiations. The effects of both annealing andpackage lid are also studied. All the results are presented anddiscussed. It is shown that the simple BEOL stack (only one thinaluminum layer) has no effect on dose deposition in the oxide of MOS capacitors. ; L'utilisation d'un générateur de rayons X à haute énergie pour tester la dose ionisante totale est étudiée sur des condensateurs MOS. Plusieurs conditions ont été étudiées pour les irradiations aux rayons X à haute énergie (avec des filtres en aluminium et en plomb) et les résultats expérimentaux sont comparés aux irradiations au Co-60. Les effets du recuit et du couvercle de l'emballage sont également étudiés. Tous les résultats sont présentés et discutés. Il est démontré que l'empilement BEOL simple (une seule couche d'aluminium) n'a pas d'effet sur le dépôt de dose dans l'oxyde des condensateurs MOS. |
| نوع الوثيقة: | conference object still image |
| اللغة: | English |
| الاتاحة: | https://hal.science/hal-04580390 https://hal.science/hal-04580390v1/document https://hal.science/hal-04580390v1/file/2023_POSTER_RADECS.pdf |
| Rights: | info:eu-repo/semantics/OpenAccess |
| رقم الانضمام: | edsbas.F96178E2 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| الوصف غير متاح. |