التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: |
The YASHMA-2 Plasma Facility for the Deposition of Coatings on Solid Surfaces |
المؤلفون: |
Anan'in, P. S., Bainov, D. D., Kositsyn, L. G., Krivobokov, V. P., Legostaev, V. N., Yudakov, S. V. |
المصدر: |
Instruments and Experimental Techniques ; volume 47, issue 4, page 547-550 ; ISSN 0020-4412 |
بيانات النشر: |
Springer Science and Business Media LLC |
سنة النشر: |
2004 |
نوع الوثيقة: |
article in journal/newspaper |
اللغة: |
English |
DOI: |
10.1023/b:inet.0000038407.42275.f6 |
الاتاحة: |
http://dx.doi.org/10.1023/b:inet.0000038407.42275.f6 |
رقم الانضمام: |
edsbas.F71F23F |
قاعدة البيانات: |
BASE |