التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Review of electrical characterisation of ultra-shallow junctions with micro four-point probe |
| المؤلفون: |
Petersen D, Hansen O, Hansen T, Boggild P, Lin R, Kjaer D, Nielsen P, Clarysse T, Vandervorst W, Rosseel E, Bennett N, Cowern N |
| المصدر: |
Proceedings of INSIGHT, 26-29 April 2009 |
| سنة النشر: |
2009 |
| المجموعة: |
Newcastle University Library ePrints Service |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
unknown |
| Relation: |
https://eprints.ncl.ac.uk/8028 |
| الاتاحة: |
https://eprints.ncl.ac.uk/8028 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.E9E1A2F8 |
| قاعدة البيانات: |
BASE |