Characterization of Amorphous High-k Thin Films by EXAFS and GIXS

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Characterization of Amorphous High-k Thin Films by EXAFS and GIXS
المؤلفون: Takemura, Momoko, Yamazaki, Hideyuki, Ohmori, Hirobumi, Yoshiki, Masahiko, Takeno, Shiro, Ino, Tsunehiro, Nishiyama, Akira, Sato, Nobutaka, Hirosawa, Ichiro, Sato, Masugu
المصدر: AIP Conference Proceedings ; volume 879, page 1573-1576 ; ISSN 0094-243X
بيانات النشر: AIP
سنة النشر: 2007
نوع الوثيقة: conference object
اللغة: unknown
DOI: 10.1063/1.2436366
الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1063/1.2436366
رقم الانضمام: edsbas.E81827A5
قاعدة البيانات: BASE