Academic Journal
МЕТОДЫ УВЕЛИЧЕНИЯ ТОЧНОСТИ НАНОПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ В СИСТЕМАХ СИНТЕЗА ДИФРАКЦИОННОЙ ОПТИКИ
| العنوان: | МЕТОДЫ УВЕЛИЧЕНИЯ ТОЧНОСТИ НАНОПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ В СИСТЕМАХ СИНТЕЗА ДИФРАКЦИОННОЙ ОПТИКИ |
|---|---|
| المؤلفون: | Шиманский, Руслан, Полещук, Александр, Корольков, Виктор, Черкашин, Вадим |
| بيانات النشر: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Сибирская государственная геодезическая академия |
| سنة النشر: | 2015 |
| المجموعة: | CyberLeninka (Scientific Electronic Library) / Научная электронная библиотека «Киберленинка» |
| مصطلحات موضوعية: | ЛАЗЕРНАЯ ЗАПИСЫВАЮЩАЯ СИСТЕМА, ПОГРЕШНОСТЬ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ, ДИФРАКЦИОННЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ |
| الوصف: | Разработан и исследован новый метод увеличения точности нанопозиционирования в лазерных устройствах изготовления дифракционной оптики. Экспериментально показано, что погрешность позиционирования записывающего лазерного пучка не превышает 50 нм за время около 160 мин. ; New method to increase the accuracy of the laser nanopositioning systems for fabrication of diffractive optics is developed and investigated. It was shown experimentally, that the positioning error of the recording laser beam was not more than 50 nm during the time of about 160 min. |
| نوع الوثيقة: | text |
| وصف الملف: | text/html |
| اللغة: | unknown |
| الاتاحة: | http://cyberleninka.ru/article/n/metody-uvelicheniya-tochnosti-nanopozitsionirovaniya-v-sistemah-sinteza-difraktsionnoy-optiki http://cyberleninka.ru/article_covers/15816960.png |
| رقم الانضمام: | edsbas.DA7B33CB |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| الوصف غير متاح. |