HfO2-CeO2膜における電気特性の膜厚及び組成依存性

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: HfO2-CeO2膜における電気特性の膜厚及び組成依存性
المؤلفون: 平井 浩司, Koji Hirai, 岡本 一輝, Kazuki Okamoto, 白石 貴久, Takahisa Shiraishi, 山岡 和希子, 鶴丸 理沙子, 井上 ゆか梨, 舟窪 浩, HIROSHI FUNAKUBO
سنة النشر: 2023
المجموعة: T2R2 (Tokyo Tech Research Repository) / 東京工業大学リサーチリポジトリ
نوع الوثيقة: conference object
اللغة: Japanese
Relation: http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/publicationinfo.cgi?q_publication_content_number=CTT100903687; oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50676219
الاتاحة: http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/publicationinfo.cgi?q_publication_content_number=CTT100903687
رقم الانضمام: edsbas.D87A8D61
قاعدة البيانات: BASE