Academic Journal
Modeling of Multifunctional Thermoresistive Transduser Used Heat Exchange Technology ; Моделювання багатофункціанального терморезистивного перетворювача, що використовує технологію теплообміну ; Моделирование многофункционального терморезистивного преобразователя, использующего технологию теплообмена
| العنوان: | Modeling of Multifunctional Thermoresistive Transduser Used Heat Exchange Technology ; Моделювання багатофункціанального терморезистивного перетворювача, що використовує технологію теплообміну ; Моделирование многофункционального терморезистивного преобразователя, использующего технологию теплообмена |
|---|---|
| المؤلفون: | Osinov, S. M., Zavorotnyi, V. F., Lupyna, B. I., Borisov, O. V. |
| المصدر: | Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал, 2019, Т. 24, № 2(109) |
| بيانات النشر: | КПІ ім. Ігоря Сікорського Київ |
| سنة النشر: | 2019 |
| مصطلحات موضوعية: | microelectromechanical system, thermoresistive primary transduser, thermoanemometric and conductometric measurement method, мікроелектромеханічна система, терморезистивний первинний перетворювач, термоанемо-метричний і кондуктометричний метод вимірювання, микроэлектромеханическая система, терморезистивный первичный преобразователь, термоанемометрические и кондуктометрический метод измерения, 621.383 |
| الوصف: | У роботі проведено аналіз електронних, теплових і гідродинамічних фізичних процесів, характерних для структур первинних перетворювачів, виготовлених за технологією кремнієвої мікроелектромеханіки. Розглянуто фізико-технічні характеристики, структурні та топологічні аспекти функціонування мікромеханічних терморезисторних теплоізольованих структур активного нагрівання, які можуть бути основою для синтезу бібліотеки елементів первинних перетворювачів в системах автоматизованого проектування пристроїв інформаційної електроніки. Особливістю уніфікованої теплоізольованої структури є її багатофункціональність, що надає можливість на базі єдиного модельного підходу до функціонування терморезисторного первинного перетворювача активного нагрівання розробити низку сенсорів фізичних величин: абсолютного та диференційного тиску газового середовища, лінійної швидкості та масових витрат флюїду, потужності електромагнітного випромінювання тощо. Всі перетворювачі засновані на єдиній структурі MEMS (Micro Electro Mechanical System) і відрізняються за функціональністю за рахунок різних режимів роботи і різних принципів визначення параметрів рідини. Це дозволяє розробляти багатофункціональні датчики на основі єдиного обладнання, що включає в себе типову структуру МЕМС і мікропроцесор масового виробництва, наприклад, PSoC (Programmable System On Chip). В роботі розвинено запропоновану авторами в попередніх роботах математичну модель поверхневого терморезисторного первинного перетворювача лінійної швидкості потоку на діелектричній мембрані, вмонтованого в стінку потокоформуючого каналу прямокутного поперечного перерізу. Проведено поглиблений аналіз теплообмінних процесів між елементами теплоізольованої структури, оточуючим флюїдом і елементами корпусу. В запропонованій моделі реальної структури первинного перетворювача враховано геометричні і теплофізичні параметри мембрани, потокоформуючого каналу, геометрії теплоізолюючої порожнини травлення кремнію. Отримано рівняння, яке описує такі процеси в квазістатичному наближенні, наведено ... |
| نوع الوثيقة: | article in journal/newspaper |
| وصف الملف: | Pp. 33-41; application/pdf |
| اللغة: | English |
| Relation: | Modeling of Multifunctional Thermoresistive Transduser Used Heat Exchange Technology / S. M. Osinov, V. F. Zavorotnyi, B. I. Lupyna, O. V. Borisov // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2019. – Т. 24, № 2(109). – С. 33–41. – Бібліогр.: 29 назв.; https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33273; https://doi.org/10.20535/2523-4455.2019.24.2.164410 |
| DOI: | 10.20535/2523-4455.2019.24.2.164410 |
| الاتاحة: | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33273 https://doi.org/10.20535/2523-4455.2019.24.2.164410 |
| Rights: | https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| رقم الانضمام: | edsbas.C9D6EDF6 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| DOI: | 10.20535/2523-4455.2019.24.2.164410 |
|---|