Efficient place and route enablement of 5-tracks standard-cells through EUV compatible N5 ruleset

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Efficient place and route enablement of 5-tracks standard-cells through EUV compatible N5 ruleset
المؤلفون: Gerousis, Vassilios, Berekovic, Mladen, Debacker, Peter, Sherazi, Syed Muhammad Yasser, Milojevic, Dragomir, Baert, Rogier, Ryckaert, Julien, Kim, Ryan Ryoung-Han, Verkest, Diederik, Raghavan, Praveen, Mattii, Luca
المساهمون: Cain, Jason P., Yuan, Chi-Min
المصدر: Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability XII
بيانات النشر: SPIE
سنة النشر: 2018
نوع الوثيقة: conference object
اللغة: unknown
DOI: 10.1117/12.2297336
الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.2297336
رقم الانضمام: edsbas.C9C5E03F
قاعدة البيانات: BASE