التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Adsorption characteristics of lithography filters in various solvents using application-specific ratings |
| المؤلفون: |
Umeda, Toru, Tsuzuki, Shuichi |
| المساهمون: |
Wallow, Thomas I., Hohle, Christoph K. |
| المصدر: |
SPIE Proceedings ; Advances in Patterning Materials and Processes XXXI ; ISSN 0277-786X |
| بيانات النشر: |
SPIE |
| سنة النشر: |
2014 |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
unknown |
| DOI: |
10.1117/12.2046588 |
| الاتاحة: |
http://dx.doi.org/10.1117/12.2046588 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.C4E06A9E |
| قاعدة البيانات: |
BASE |