Conference
Piezoelectric reliable RF-MEMS switch with narrow contact-gap using wafer-bond packaging
| العنوان: | Piezoelectric reliable RF-MEMS switch with narrow contact-gap using wafer-bond packaging |
|---|---|
| المؤلفون: | Nakatani, T., Katsuki, T., Okuda, H., Toyoda, O., Ueda, S., Nakazawa, F. |
| المصدر: | 2013 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest (MTT) |
| بيانات النشر: | IEEE |
| سنة النشر: | 2013 |
| نوع الوثيقة: | conference object |
| اللغة: | unknown |
| DOI: | 10.1109/mwsym.2013.6697667 |
| الاتاحة: | http://dx.doi.org/10.1109/mwsym.2013.6697667 http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/6684335/6697324/06697667.pdf?arnumber=6697667 |
| رقم الانضمام: | edsbas.B47E4D32 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| DOI: | 10.1109/mwsym.2013.6697667 |
|---|