Deposition of multilayer optical coatings using closed-field magnetron sputtering

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Deposition of multilayer optical coatings using closed-field magnetron sputtering
المؤلفون: Gibson, D. R., Brinkley, I., Hall, G. W., Waddell, E. M., Walls, J. M.
المساهمون: Ellison, Michael J.
المصدر: SPIE Proceedings ; Advances in Thin-Film Coatings for Optical Applications III ; ISSN 0277-786X
بيانات النشر: SPIE
سنة النشر: 2006
نوع الوثيقة: conference object
اللغة: unknown
DOI: 10.1117/12.679052
الاتاحة: http://dx.doi.org/10.1117/12.679052
رقم الانضمام: edsbas.B1C98590
قاعدة البيانات: BASE