Conference
Micromachining by maskless wet anisotropic etching {hkl} structures on {100} oriented silicon
| العنوان: | Micromachining by maskless wet anisotropic etching {hkl} structures on {100} oriented silicon |
|---|---|
| المؤلفون: | Jovic, V., Lamovec, J., Smiljanic, M. M., Popovic, M. |
| المصدر: | 2010 27th International Conference on Microelectronics Proceedings ; page 243-246 |
| بيانات النشر: | IEEE |
| سنة النشر: | 2010 |
| نوع الوثيقة: | conference object |
| اللغة: | unknown |
| DOI: | 10.1109/miel.2010.5490489 |
| الاتاحة: | http://dx.doi.org/10.1109/miel.2010.5490489 http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/5483038/5490436/05490489.pdf?arnumber=5490489 |
| رقم الانضمام: | edsbas.ADB82418 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| DOI: | 10.1109/miel.2010.5490489 |
|---|