التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Fabrication of grating waveguide structures for spectral (and linear polarization) stabilization and wavelength multiplexing for 976 nm, 1030 nm, and 2000 nm wavelength range ; Fabrication de structures de guides d'ondes à réseau pour la stabilisation spectrale (et la polarisation linéaire) et le multiplexage en longueur d'onde pour la gamme de longueurs d'onde de 976 nm, 1030 nm et 2000 nm |
| المؤلفون: |
Nagaraj Rao, Ratish Rao |
| المساهمون: |
Saint-Etienne, Jourlin, Yves |
| سنة النشر: |
2022 |
| المجموعة: |
theses.fr |
| مصطلحات موضوعية: |
Structures de réseau à guide d'onde, Variation de la période de grille, Uniformité des périodes, Lithographie par interférence laser, NanoFabrication, Grating wavegide structures, Grating period variation, Period chirp, Period uniformity, Laser interference lithography |
| الوصف: |
Ce travail de doctorat s'inscrit dans le cadre du projet européen GREAT (Grating Reflectors Enabled Applications and Training). Le projet porte sur l'exploration des technologies de production par un contrôle approprié du processus de fabrication de réseaux résonants (Grating Waveguide Structures - GWS) pour des systèmes laser haute puissance. L'objectif de cette thèse est de développer des GWS pour la stabilisation spectrale et le multiplexage de longueurs d'onde d’une diode laser émettant à 976 nm et d’un laser à l’état solide émettant à 1 µm. Ce travail se concentre principalement sur la fabrication GWS par lithographie interférentielle (Laser Interference Lithography - LIL) et sur l'optimisation de cette technique pour obtenir une meilleure uniformité de la période du réseau. La fabrication par LIL de GWS sur multicouche est détaillée depuis la fabrication du multicouche jusqu'à l'étape finale de gravure. Les réseaux ainsi fabriqués sont ensuite caractérisés optiquement et géométriquement. L'échantillon GWS utilisé pour un système laser à l'état solide émettant à 1 µm a montré une efficacité de diffraction de 92%. La fabrication des moules en silicium (Si) est également détaillée. Ce développement est motivé par leur utilisation, à terme, comme tampon dans la technique de lithographie par nano-impression (NIL) pour produire des GWS plus rapidement et à moindre coût. Un résultat important de ce travail est basé sur l'étude quantitative d'une technique établie, à savoir la déformation du substrat pendant l’étape de lithographie interférentielle pour réduire la variation de période due à l'utilisation de faisceaux d'exposition divergents. Les résultats expérimentaux montrent une réduction moyenne d'environ 85% de la variation de période pour un substrat de 4 pouces de diamètre. ; This Ph.D. work is part of the European project GREAT (Grating Reflectors Enabled Applications and Training). The project focuses on exploring production technologies through appropriate control of the manufacturing process of Grating ... |
| نوع الوثيقة: |
thesis |
| اللغة: |
English |
| Relation: |
http://www.theses.fr/2022STET0049/document |
| الاتاحة: |
http://www.theses.fr/2022STET0049/document |
| Rights: |
Open Access ; http://purl.org/eprint/accessRights/OpenAccess |
| رقم الانضمام: |
edsbas.A4E2EF5E |
| قاعدة البيانات: |
BASE |