التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
A high-frame-rate DUV-optimized CCD for simultaneous measurements of illumination intensity, polarization amplitude, and polarization direction for very high NA imaging systems |
| المؤلفون: |
Kunz, Roderick R., Rathman, Dennis D., Spector, Steven J., Rose, Michael K., Yeung, Michael |
| المصدر: |
Optical Microlithography XVIII |
| بيانات النشر: |
SPIE |
| سنة النشر: |
2005 |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
unknown |
| DOI: |
10.1117/12.602757 |
| الاتاحة: |
http://dx.doi.org/10.1117/12.602757 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.A1CD3C8B |
| قاعدة البيانات: |
BASE |