التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Pattern recognition and data mining techniques to identify factors in wafer processing and control determining overlay error |
| المؤلفون: |
Lam, Auguste, Ypma, Alexander, Gatefait, Maxime, Deckers, David, Koopman, Arne, van Haren, Richard, Beltman, Jan |
| المساهمون: |
Cain, Jason P., Sanchez, Martha I. |
| المصدر: |
SPIE Proceedings ; Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXIX ; ISSN 0277-786X |
| بيانات النشر: |
SPIE |
| سنة النشر: |
2015 |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
unknown |
| DOI: |
10.1117/12.2085497 |
| الاتاحة: |
http://dx.doi.org/10.1117/12.2085497 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.9BC36E96 |
| قاعدة البيانات: |
BASE |