التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Precise optical constant determination in the soft x-ray, EUV, and VUV spectral range |
| المؤلفون: |
Abbasirad, Najmeh, Saadeh, Qais, Ciesielski, Richard, Gottwald, Alexander, Philipsen, Vicky, Makhotkin, Igor, Sokolov, Andrey, Kolbe, Michael, Scholze, Frank, Soltwisch, Victor |
| المساهمون: |
Robinson, John C., Sendelbach, Matthew J. |
| المصدر: |
Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII |
| بيانات النشر: |
SPIE |
| سنة النشر: |
2023 |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
unknown |
| DOI: |
10.1117/12.2659369 |
| الاتاحة: |
http://dx.doi.org/10.1117/12.2659369 |
| رقم الانضمام: |
edsbas.9AB3D1CF |
| قاعدة البيانات: |
BASE |