Micro Hall effect metrology

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Micro Hall effect metrology
المؤلفون: Petersen, Dirch Hjorth, Hansen, Ole, Wang, Fei, Østerberg, Frederik Westergaard, Henrichsen, Henrik Hartmann, Bøggild, Peter, Lin, Rong, Nielsen, Peter Folmer, Clarysse, T., Rosseel, E., Vandervorst, W.
المصدر: Petersen , D H , Hansen , O , Wang , F , Østerberg , F W , Henrichsen , H H , Bøggild , P , Lin , R , Nielsen , P F , Clarysse , T , Rosseel , E & Vandervorst , W 2012 , ' Micro Hall effect metrology ' , International Conference on Ion Implantation Technology , Valladolid , Spain , 25/06/2012 - 29/06/2012 .
سنة النشر: 2012
المجموعة: Technical University of Denmark: DTU Orbit / Danmarks Tekniske Universitet
نوع الوثيقة: conference object
اللغة: English
Relation: https://orbit.dtu.dk/en/publications/869c9657-5353-4c38-9aa7-7585f4094db3
الاتاحة: https://orbit.dtu.dk/en/publications/869c9657-5353-4c38-9aa7-7585f4094db3
Rights: info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
رقم الانضمام: edsbas.989903BA
قاعدة البيانات: BASE